コア技術提携・受託サービス
主なコア技術

薄膜技術

ガラス基板上に、アルミによる
高精細回路・パターン形成が可能

 アルミスパッタリングによるパターン形成で、ガラス基板上に印刷では不可能なレベルの高精細回路形成が可能です。 パターンの黒色処理(ノリタケの独自技術)や、透明導電膜(ITO膜)の形成も対応します。

 最大500mmの大きなガラス基板への、高い位置精度での形成も得意としています。

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VFD製造時の量産レベル
配線ピッチ 30μm~
配線幅 15μm~
配線色 銀色(ミラー)、黒色
スパッタ材料 アルミニウム、ITO(酸化インジウムスズ)、SiO2等
基板素材 ガラス
VFDでの使用箇所 ガラス基板回路形成
※量産レベルを上回る仕様でもご相談ください


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